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日立高新技術(shù)公司于2016年4月15日在全球發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，但分辨率不輸大型電鏡，同時操作極其簡便，幾乎不用培訓(xùn)就可操作。

掃描電子顯微鏡可對材料的表面進(jìn)行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術(shù)、生命科學(xué)、產(chǎn)品設(shè)計研發(fā)及失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 近年來，掃描電鏡觀察表面精細(xì)結(jié)構(gòu)及元素分析的需求日趨增加，而越來越多的用戶希望能在生產(chǎn)線、品保檢驗線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此，體積小、操作簡便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關(guān)注。FlexSEM 1000主機(jī)寬450mm、長640mm，相比SU1510型號體積減小52%，重量減輕45%，功耗減小50%，且配備標(biāo)準(zhǔn)化的電源接口。主機(jī)與供電單元可分離，安裝非常靈活。

FlexSEM 1000采用最新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和高可靠性、高靈敏度的探測器，分辨率高達(dá)4nm。FlexSEM 1000有多種自動化功能，操作簡便，即便是初次操作者也能快速拍出高質(zhì)量圖像。另外，新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」可使用各種光學(xué)圖片或電鏡照片進(jìn)行導(dǎo)航，一鍵就快速精準(zhǔn)地切換至感興趣的高倍率視野。
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